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產(chǎn)品型號： MTM-3020MA
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特點：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)： E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm)型號MTM-3020MA工作臺金屬臺尺寸(mm)500 x 330玻璃臺尺寸(mm)350 x 250X、Y軸運動行程(mm)300 x 200手動Z軸行程(mm)120自動Z軸行程(mm)2外形尺寸(mm)825 x 660 x 910儀器重量(kg)130X、Y、Z軸分辨力(μm)0.5自動Z軸分辨力(μm)0.1示值誤差(μm)物鏡放大倍數(shù)誤差包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%落射照明光源可調(diào)高亮度鹵素燈底光照明光源可調(diào)高亮度LED燈源目視系統(tǒng)影像系統(tǒng)物鏡放大倍數(shù)5X、10X、20X、50X5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡目鏡放大倍數(shù)10X雙鏡筒1/2”CCD攝像機視頻總倍率50X ~500X142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)單層透明膜厚度測量模組高精度測量模式快速測量模式厚度測量范圍100nm ~300nm300nm ~500nm500nm ~3μm3μm ~20μm分辨力5nm5nm7.5nm0.1μm
