特點(diǎn)：

測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

特點(diǎn)：

1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向，保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度

3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運(yùn)行平穩(wěn)

4. 同軸光/底光測(cè)量

5. 內(nèi)置偏光測(cè)量光學(xué)模塊

6. 自主開(kāi)發(fā)QMS3D-M軟件，高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)

7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量

8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦

9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能

10. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：